刘鹏:第三季度将建成国际上最大的HVPE设备

万象   来源:莞讯网  责任编辑:百花残  2014-04-22 11:00:58

继去年被评为东莞市劳动模范的刘鹏,今年更进一步,获评广东省五一劳动奖章。1981年出生的刘鹏正从事着最前沿的半导体器件及材料的研究工作。他主持设计的氢化物汽相外延(HVPE)设备,正在为东莞市中镓半导体科技有限公司源源不断地生产出氮化镓单晶。而这家公司是国内首家专业生产氮化镓(GaN)衬底材料及相关技术的企业。

刘鹏具有较强的技术功底,是该企业骨干技术人才。作为课题负责人,他承担了3项国家科技部863计划项目研究工作,还参与了一项973计划的研究,其中1项863计划已获得专家组验收通过。2014年参与信息科学部中大科研仪器设备研制专项,刘鹏作为项目主要承担者之一,负责项目整体设计实施工作。

第三季度将建成国际上最大的HVPE设备

2009年,刘鹏担任公司生产一部副经理,他负责的部门集生产与研发于一体,既使用已研制和组建成功的氢化物汽相外延(HVPE)设备生产质量优异的GaN-Al2O3复合衬底,更在此类HVPE设备的基础上研发设计产能更高、性能更好的先进设备。

通过团队的不懈努力,不到18个月的时间就顺利组建6台三片基HVPE先进设备,并于2010年11月投入使用,生产效率提高3倍,目前运行状况良好,成品率90%以上。

 2009年初,汲取已有国产设备研制的成功经验,借鉴国外引进先进科研设备的设计理念,利用机械设计及流体模拟等功能软件辅助,成功设计出单片基HVPE,在此基础上,刘鹏带领团队,

 在此基础上,刘鹏带领团队的伙伴们秉承不断创新的理念,攻克重重难关,开始设计三片基HVPE设备,并不断吸纳多方面人才的强大力量,利用机械设计及流体模拟等功能软件辅助设计,将理论与实践紧密地结合在一起,使每一个设计思路都实际化,大大地减少了无证据空思路带来的失误及返工工作。

 目前,刘鹏带领的团队正在开展更大型的适合产业化的21片HVPE机型的研发,已完成设备的主体部分制造。据记者了解,目前该设备已经进行了一次调试工作,预计在第三季度将完成搭建及相关调试工作,届时将成为国际上最大型的HVPE设备,为我国高端先进装备制造业占领一个新的阵地。

21片HVPE设备是怎么一个概念?

据刘鹏介绍,在目前3片基的设备基础上,将提高7倍的生产效率,生产成本将大幅下降。据透露,届时将成为国际上第一家具备21片基HVPE设备的企业,领先于国际前沿水平。

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